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heidenhain海德漢光柵尺LIF 101精度±1μm 高真空和超高真空技術(shù) 我們的標(biāo)準(zhǔn)編碼器適用于低真空或中等真空應(yīng)用。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設(shè)計(jì)和材質(zhì)必須滿足應(yīng)用要求。更多信息，參見(jiàn)“真空中應(yīng)用的直線光柵尺”產(chǎn)品信息。

heidenhain海德漢光柵尺LIF401精度0.01 µm LIF 471，LIF 481 安裝簡(jiǎn)單的增量式直線光柵尺 ? 測(cè)量步距1 µm至0.01 µm ? 用限位開(kāi)關(guān)和零位軌檢測(cè)位置 ? 玻璃光柵尺，背膠固定 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成 ? 高真空版（參見(jiàn)產(chǎn)品信息樣本）

heidenhain海德漢光柵尺LIP 571精度1 µm LIP 571，LIP 581 超高精度增量式直線光柵尺 ? 測(cè)量步距1 µm至0.01 µm ? 測(cè)量基準(zhǔn)用固定架固定

heidenhain海德漢光柵尺LIP 481精度0.005µm LIP 471，LIP 481 超高精度增量式直線光柵尺 ? 用于有限安裝空間應(yīng)用 ? 測(cè)量步距1 µm至0.005 µm ? 測(cè)量基準(zhǔn)用固定架固定 ? 高真空或超高真空版（參見(jiàn)產(chǎn)品信息樣本）

heidenhain海德漢光柵尺LIP 201精度0.001µm LIP 211，LIP 281，LIP 291 增量式直線光柵尺，精度高和重復(fù)精度高 ? 測(cè)量步距可達(dá)0.001 µm（1 nm）或更小 ? 用于高運(yùn)動(dòng)速度和大測(cè)量長(zhǎng)度 ? 測(cè)量基準(zhǔn)用固定架固定 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

heidenhain海德漢光柵尺LIP 382精度0.001µm LIP 372，LIP 382 超高精度增量式直線光柵尺 ? 測(cè)量步距達(dá)0.001 µm（1 nm） ? 測(cè)量基準(zhǔn)用螺栓固定